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1.对44118太阳成城集团纯度要求不同的气体设备,应采用分级高纯气体输送系统。
2.对于不同特性的气体,需要规划独立的供气区域,一般分为三个区域:腐蚀性/有毒气体区域、可燃气体区域和惰性气体区域。
3.路线设计中应考虑44118太阳成城集团的输送距离。距离越长,成本越高,风险越高。一般合理的设计流量为20毫升/秒,可燃气体小于10毫升/秒,有毒/腐蚀性气体小于8毫升/秒。
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